跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用重大儀器專項啟動

　　3月20日,國家重大科學儀器設備開發(fā)專項“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用”項目首次工作會議在市計測院舉行。國家質(zhì)檢總局科技司副處長謝正文主持會議，清華大學院士金國藩、同濟大學院士李同保、上海理工大學院士莊松林，國家質(zhì)檢總局科技司副司長王越薇、市質(zhì)監(jiān)局總工程師陸敏、市科委處長過浩敏等專家和領導出席會議。

　　會上，項目總體組、技術(shù)專家組、項目監(jiān)理組、用戶委員會和項目管理辦公室宣布成立。會議報告了項目及任務實施方案，介紹了項目管理辦法，并由專家現(xiàn)場進行了技術(shù)點評和項目管理點評。

　　王越薇對項目推進提出了具體工作要求。她要求項目所有單位本著為國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展負責的精神，對項目予以高度重視。牽頭單位要圍繞總體目標，做細做實項目推進計劃，項目各參與單位必須按時保質(zhì)完成分目標，確保項目順利推進。她要求加強項目的過程管理，制定并落實各項管理制度，對項目推進中出現(xiàn)的問題，要協(xié)調(diào)解決，必要時召開專題會議，并且做好包括基礎數(shù)據(jù)、過程記錄在內(nèi)的檔案管理。她還要求加強項目的財務管理，牽頭單位和各參與單位都要重視財務管理，尤其要提高國家級重大項目的財務管理水平，確保項目經(jīng)費的使用符合財務管理要求。最后，王越薇長還代表國家質(zhì)檢總局科技司表示，將盡全力做好項目實施單位與國家科技部的橋梁工作。

　　會上，陸敏要求市計測院勇于創(chuàng)新，集中力量確保項目順利實施，并通過科研項目促進科研管理水平和能力的提高。

　　過浩敏感謝國家質(zhì)檢總局對項目的支持，肯定了重大專項對上海市創(chuàng)建具有國際影響力的科創(chuàng)中心的重要意義，并表示市科委將盡全力做好項目實施的地方配套服務工作。

　　“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)與應用”項目以我國近年來多項創(chuàng)新技術(shù)及市計測院科研成果為基礎，突破我國在微納米檢測技術(shù)領域檢測方法集成開發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸，旨在攻克宏微聯(lián)動多軸驅(qū)動和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)，研制用于計量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量儀，并構(gòu)建跨尺度、高精度微納米測量與研發(fā)平臺，為我國國防、航空航天、半導體制造業(yè)、微機電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領域提供有效的納米計量技術(shù)支持和保障，提升我國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測量的技術(shù)水平。

　　在國家質(zhì)檢總局的組織和指導下，項目經(jīng)過近兩年半時間的籌備和醞釀，于2014年10月獲得國家科技部批準立項。項目牽頭單位為上海計測工程設備監(jiān)理有限公司，第一技術(shù)支撐單位為市計測院，16家參加單位涉及清華大學、上海交通大學、復旦大學、同濟大學等國內(nèi)頂級高校，以及中國工程物理研究院、國家納米中心、中國科學院等國內(nèi)頂尖研究機構(gòu)。

　　項目研究過程中，將以產(chǎn)業(yè)需求為牽引，以實際應用為導向，注重基于國際先進技術(shù)基礎上的集成創(chuàng)新和工程化、產(chǎn)業(yè)化開發(fā)，著力挖掘科研成果轉(zhuǎn)化的潛力，提高我國微納米測量科學儀器設備的自主創(chuàng)新能力和自我裝備水平，并促進產(chǎn)、學、研、用的結(jié)合。項目完成后，將形成具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的儀器產(chǎn)品、附件、服務、標準等成果，能夠填補國內(nèi)空白，挑戰(zhàn)國外儀器在相關(guān)領域的權(quán)威地位，促進納米科技與經(jīng)濟緊密結(jié)合、科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)發(fā)展緊密融合，更樹立國家在納米制造、微電子、新型材料、超精密加工制造等領域的國際權(quán)威地位與話語權(quán)。